スラリー混合・供給システム
iSIS™ 1200Jは、キャビネットが2分割されており、それぞれに混合部と供給部を持つ事で、リダンダンシー供給を可能としています。このコンセプトは特にシステムのダウンタイムを最小限に抑えたいというニーズに応えたものです。更に、国内向けに制御部と操作画面は完全国産化しており、操作性とメンテナンス性の向上を図っており、スラリー供給エンジンとしてスラリー種により真空圧送方式のPVVエンジン、または各種ポンプを選択出来るというユニークなコンセプトを採用しています。
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Chemical Management Products
Cuに代表される次世代配線プロセスの開発・量産が進められるなか、CMPプロセスの重要性は益々高まってきています。
アプリシアテクノロジーは、岡山技術センターでの実機装置を使用したプロセス開発・ラボテストを通じて、米国AIR LIQUIDE ELECTRONICS社とともに多様化するスラリー特性及びCMPプロセス特性に対応した装置開発を行なっていきます。
次世代プロセスに向けて、当社のスラリー供給システムはさらに進化し続けます。MX2000
スラリー混合・供給システム
CMPプロセスで使用される各種スラリーの希釈・混合および供給を行うシステムです。真空圧送循環方式のP2200および日本語版オペレーションを可能にしたMX2000があります。特にシリカ系スラリーを使用するCMPプロセスにおいて、マイクロスクラッチや研磨特性に影響を与えるスラリー凝集に対して真空圧送によるスラリー供給は著しい抑制効果を発揮しており、高い稼働率と共に安定したCMPプロセスの実現に貢献しています。
iSIS™ 1100
スラリー混合・供給システム
iSIS1100™は、ロードセルをベースにしたMassFusion™混合技術に特長を持ち、これにより±0.1%という高い混合精度を実現しております。ロードセルの採用により、混合比の設定変更が容易であり、高比率混合が可能であるなど、あらゆるCMPプロセスに対応できる高いフレキシビリティーを持った装置と言えます。
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FSI Products
HARMONIX Products
Chemical Management Products
AIXTRON Inc. Products
PSK Products
2008年1月1日をもってm・FSIからアプリシアテクノロジー株式会社に社名を変更いたしました。
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