2005年11月

弊社では、来る2005年12月7日から千葉 幕張メッセで開催される世界最大の半導体製造装置・部品・材料の国際エキシビションSEMICON Japan 2005(12/7(水)～12/9(金)主催：SEMI ジャパン)に本年も出展いたします。
本年は、“優しい技術”（フレンドリーテクノロジー）をテーマに掲げ、 最新のアプリケーションとソリューションをご用意しております。
皆様のご来場、心よりお待ち申し上げております。

1．弊社ブース No ： ホール 4-A701

2．本年の見どころ

新にリリースした窒化膜エッチング用洗浄・エッチングシステム TIGRIS® N.V./
CIMANTO® N.V.を始め、65nmに対応するバッチ式スプレー洗浄システムZETA® や極低温エアロゾル洗浄システム ANTARES® CXなど、先端プロセス向けを中心とする主力の洗浄・表面処理システム・ラインナップの他、CMPプロセス用スラリー希釈・供給管理システム等をご紹介致します。

3．本年の展示製品

洗浄・表面処理システム

45nm以降の技術ノード向け先端技術を始め、付加価値技術、独自技術で最適なソリューションをご提供致します。

200mm/300mm対応単槽式スプレー洗浄システム	ZETA® 200、ZETA® 300
極低温エアロゾル洗浄システム	ANTARES® CX
小型多機能ウエットステーション	MAGELLAN®
枚葉スピン両面洗浄システム	CENOTE®
ウエハ薄膜化システム	BEST
窒化膜エッチング用洗浄・エッチングシステム	TIGRIS® N.V. CIMANTO® N.V.
燐酸高温循環システム	NISON®　1800
燐酸再生システム	PSYRION®

SEMICON Japan 2005 開催概要 /SEMI ジャパン HP

http://wps2a.semi.org/wps/portal/_pagr/127/_pa.127/419

本件のお問合せにつきましては 企画部 業務企画 Gr 松浦 江理子 まで
TEL: 03-5309-8425 (直)　　03-5309-8400(代)
E-mail：eriko_matsuura@mfsi.co.jp

※ m・FSIは、BOCエドワーズ社ケミカルマネジメント製品の一手販売店です。
(BOCEブース: Hall 4 A-805)