SEMICON Japan 2002 出展のご案内

2002年12月

弊社では、来る2002年12月4日から千葉幕張メッセで開催される世界最大の半導体製造装置・部品・材料の国際エキシビションSEMICON Japan 2002(12月4日～6日主催：SEMIジャパン)に本年も出展いたします。
本年の主な出展内容は、以下の通りです。皆様のご来場、心よりお待ち申し上げております。

1．洗浄・表面処理システム

スプレー式ワンパス洗浄装置	ZETA®/MERCURY®
極低温アルゴンエアロゾルシステム	ANTARES® CX
小型多機能ウエットステーション	MAGELLAN®
多段式枚葉スピン洗浄システム	ASTRAIA™

2．マイクロリソグラフィーシステム

コータ＆デベロッパシステム

POLARIS®

3．ケミカルマネジメントシステム

CMPスラリー混合・供給システム	iSIS™ 1200
過酸化水素水自動滴定システム	AR200
粒度分布モニタリングシステム	iSPEQ

弊社ブースNo：ホール4-A701

SEMICON Japan 2002/SEMIジャパン
http://events.semi.org/semiconjapan/V33/index.cvn