2004年3月

m・FSIは国内の先端デバイスメーカーから極低温エアロゾル洗浄装置 ANTARES CXを初受注した。

ANTARES CXは不活性ガスであるアルゴンや窒素を熱交換器を通してプレクールし、減圧チャンバー内で膨張冷却させることにより固体エアロゾル化し、ウェハに吹き付け欠陥異物を除去する全く新しいコンセプトの物理洗浄装置である。

純水を用いない非回転系システムであり、ウォーターマークフリー、チャージダメージフリー、Porous Low-k膜への吸湿がない等の利点がある。また新たに開発したAspectCleanでは超微細パターンでの構造破壊も防止している。

購入を決定した先端デバイスメーカーではオンサイトでの生産品評価により、同装置の導入によって先端デバイス品で、リファレンス品に対するYeildが著しく向上することを実証した。フロントエンド及びバックエンド双方の洗浄プロセスに導入する。