2001年8月

FSI社は、米国大手デバイスメーカーから300mm向けZETA®の受注を発表しました。この受注は、300mm向けZETA(r) BEシステムで、BEOLでの洗浄用途に採用されます。出荷は2002年3月の
予定。

「300mmスプレー式装置の開発における実績が上がるにつれて、ZETA® システムの300mm生産での信頼性とパフォーマンスを備えていきます。業界の生産性標準、新プロセスなどに対応すべく、昨年11月にZETA® BE仕様をリリースしていました。このZETA® BEでは、従来のZETA® FEOL仕様と同様に高い信頼性と高いC.O.O.を提供しています。」とFSI Surface Conditioning Division社長のJohn Elyは語っています。