2001年8月

FSI社は、300mmウェハ対応ZETA®を２つのアジア地区デバイスメーカー向けに出荷したと発表しました。これらのシステムは、FEOLでのPR-StripおよびPost-Ash Clean用途に使用されます。

「300mmでの生産へと移行するにしたがい、装置・プロセスとも300mm生産に相応しく、適したものであることが肝要となってきています。このZETA®300システムは、信頼性の高いパフォーマンスをご提供し、それゆえ限られた予算範囲で300mm生産立上げを実現できるのです。
300mm生産への移行が進むにつれて、お客さまから本装置への期待も増えることでしょう。」とFSI Surface Conditioning Division社長のJohn Elyは語っています。

SELETEでのZETA®300システムへの高評価は、アジアでの高認知度の結果をもたらしました。
この評価は、0.25－0.18µで拡散前洗浄、PR-Strip、Oxide Etch、Ti-Stripなどといった用途での性能評価でした。さらに信頼性テストが進むにつれて、ZETA® は、SELETEに“300mm生産に相応しい装置である”と認められていったのです。