ウエハ異物検査装置、膜厚測定装置等、高水準の検査・分析装置を多数導入しており、300mmウエハに対応した装置の評価や、プロセスの開発・検証も社内で実施可能です。

クラス10のプロセスラボ用のクリーンルームです。弊社主要装置を使い、お客様向けデモンストレーション及び各種試験（検証・開発）を実施します。

お客様へのメンテナンストレーニングの講義、電気・制御系のチェック及び検証試験などを行います。

クラス1000のクリーンルームです。スラリー供給装置のデモ及び各種試験を実施します。また主要装置のハードウェアの検証・開発試験もこの部屋で行います。