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沿革
1991年 8月 港区虎ノ門・商船三井ビルにて発足 9月 事業開始 10月 TITAN 第一号機受注 1992年 3月 MERCURY®第一号機受注
岡山事業所旧クリーンルーム完成10月 江東区深川に本社移転 1993年 7月 VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社9位を獲得 1994年 7月 VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社5位を獲得 10月 FSI社ISO9001取得
千代田区飯田橋に本社移転1995年 10月 P2200TM第一号機受注 1996年 2月 日本最大スラリーシステム受注 7月 VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社9位を獲得 1998年 7月 VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社2位を獲得 1999年 7月 BOC Edwards社CMDの日本における一手販売店となる
岡山技術センター完成 研究開発力を同センターに集約
VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社9位を獲得10月 SELETEにて全自動スプレー洗浄装置ZETA®正式採用 2000年 MERCURY®国内販売台数100台突破 2001年 7月 VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社2位を獲得 2002年 7月 VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社7位を獲得 2003年 6月 日曹エンジニアリング株式会社の半導体製造装置部門を継承し、
ハーモニクス事業部を設立
中野区本町に本社移転2004年 3月 ANTARES®CX第一号機受注 7月 VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社6位を獲得 9月 m・FSI独自技術のFSIに対するライセンス契約を締結 2005年 3月 m・FSI社ISO9001取得 7月 VLSIリサーチ社主催カスタマー満足度調査にてFSI社9位を獲得 2007年 5月 業態変革を実施、MEBOにより株主変更 2008年 1月 社名をアプリシアテクノロジー株式会社に変更 7月 AIXTRON Inc.社と販売業務提携契約締結 10月 PSK Inc.社と販売業務提携契約 締結 2009年 5月 アプリシア製造株式会社へ追加出資
(岩谷産業株式会社からアプリシア製造株式会社へ出資を受ける)7月 アプリシア製造株式会社の子会社として、台湾 新竹に亞普恩科技股份有限公司
(Apprecia Formosa Inc.) を設立、業務開始 -
2008年1月1日をもってm・FSIからアプリシアテクノロジー株式会社に社名を変更いたしました。
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